DSP-kiekot

Asiakassovelluksiin räätälöidyt DSP-kiekot

Okmeticin DSP-kiekot (kaksipuolisesti kiillotetut) räätälöidään asiakkaan prosessien ja tuotteiden erityisvaatimusten mukaan. Okmetic on vaativiin sovelluksiin tarkoitettujen räätälöityjen piikiekkojen valmistuksen edelläkävijä, ja se on kehittänyt DSP-kiekkoja vuodesta 1985 alkaen.

DSP-kiekot ovat erinomainen alusta kaksipuoliselle litografialle. Okmeticin laaja kokemus ja tietotaito varmistavat sen, että DSP-kiekkojemme paksuus ja orientaation tarkkuus ovat hyvin yhtenäiset ja että kiteet ovat ensiluokkaisia ja tasalaatuisia.

Okmetic tarjoaa myös standardipaksuuksista poikkeavan ohuita ja paksuja DSP-kiekkoja sekä CAP-kiekkoja anodiseen, eutektiseen, yhdistettyyn ja lasiseen sulatesidokseen sekä bulkkioptimoituja kiekkoja alkaliseen syövytykseen (esim. KOH, TMAH). CAP-suojauksessa Okmeticin kiekot mahdollistavat MEMS-rakenteiden erinomaisen sidosvahvuuden ja ilmatiiviin sulkemisen. Bulkkimikromekaniikkaan optimoidut kiekot varmistavat anturielementtien tarkkuuden, vakaan laadun ja tehokkaan prosessoinnin.   

Yleisspesifikaatio

Kasvatusmenetelmä
Cz, MCz
Halkaisija
100, 150, 200 mm
Kideorientaatio
<100>, <110>, <111>, kallistettu orientaatio
N-tyypin seosaineet
Antimoni, arseeni. fosfori, punainen fosfori
P-tyypin seosaineet
Boori
Resistiivisyys
< 1 mOhm-cm...yli 5000 Ohm-cm
Paksuus
300- >1,000 µm
Paksuustoleranssi 
±5 µm (vaativissa sovelluksissa ±3 µm)
TTV
<1 µm
Orientaation tarkkuus
±.2° (±.1°)