SSP-kiekot

Räätälöityjä SSP-kiekkoja monenlaisiin sovelluksiin

Okmeticin SSP-kiekot (yksipuolisesti kiillotetut) tarjoavat täydellisen alustan erillispuolijohdesovelluksiin ja analogisiin sovelluksiin, pinta-MEMSille, CAP-suojaukseen jne. Okmeticin oma kiteenkasvatus luo lyömättömät kyvykkyydet SSP-kiekoille ja näin ollen myös asiakkaan prosesseille.  Kiteenkasvatus tarjoaa myös perustan voimakkaasti seostetuille, matalaresistiivisille kiekoillemme, jotka mahdollistavat äärimmäisen suorituskykyiset tehopuolijohteet. Punaisella forsforilla seostetut kiekkomme ovat erittäin matalaresistiivisiä vähentäen resistanssia komponentin ollessa johtavassa tilassa ja pienjännitteisten teho-MOSFET-komponenttien tehonmenetystä.

Yleisspesifikaatio

Kasvatusmenetelmä
Cz, MCz
Halkaisija
100, 150, 200 mm
Kideorientaatio
<100>, <110>, <111>, kallistettu orientaatio
N-tyypin seosaineet
Antimoni, arseeni, fosfori, punainen fosfori
P-tyypin seosaineet
Boori
Resistiivisyys
< 1 mOhm-cm...yli 5000 Ohm-cm
Taustapuolen käsittely
Syövytetty, taustanvaurioitus, polyback, LTO, kiillotettu

Okmeticin 200 mm:n SSP on yhteensopiva myös kaikkein vaativimpien prosessien kanssa.  Sen paksuus ja tasaisuus on erinomainen. Okmetic tarjoaa myös standardipaksuudesta poikkeavia SSP-kiekkoja erikoissovelluksiin (4” 200–1300 µm; 5” 200–1300 µm; 6” 380–1300 µm; 8” 500–1500 µm).