Asiakassovelluksiin räätälöidyt DSP-kiekot
Okmeticin DSP-kiekot (kaksipuolisesti kiillotetut) räätälöidään asiakkaan prosessien ja tuotteiden erityisvaatimusten mukaan. Okmetic on vaativiin sovelluksiin tarkoitettujen räätälöityjen piikiekkojen valmistuksen edelläkävijä, ja se on kehittänyt DSP-kiekkoja vuodesta 1985 alkaen.
DSP-kiekot ovat erinomainen alusta kaksipuoliselle litografialle. Okmeticin laaja kokemus ja tietotaito varmistavat sen, että DSP-kiekkojemme paksuus ja orientaation tarkkuus ovat hyvin yhtenäiset ja että kiteet ovat ensiluokkaisia ja tasalaatuisia.
Okmetic tarjoaa myös standardipaksuuksista poikkeavan ohuita ja paksuja DSP-kiekkoja sekä CAP-kiekkoja anodiseen, eutektiseen, yhdistettyyn ja lasiseen sulatesidokseen sekä bulkkioptimoituja kiekkoja alkaliseen syövytykseen (esim. KOH, TMAH). CAP-suojauksessa Okmeticin kiekot mahdollistavat MEMS-rakenteiden erinomaisen sidosvahvuuden ja ilmatiiviin sulkemisen. Bulkkimikromekaniikkaan optimoidut kiekot varmistavat anturielementtien tarkkuuden, vakaan laadun ja tehokkaan prosessoinnin.
Yleisspesifikaatio
|
Kasvatusmenetelmä
|
Cz, MCz
|
|
Halkaisija
|
150, 200 mm
|
|
Kideorientaatio
|
<100>, <110>, <111>, kallistettu orientaatio
|
|
N-tyypin seosaineet
|
Arseeni. fosfori, punainen fosfori
|
|
P-tyypin seosaineet
|
Boori
|
|
Resistiivisyys
|
< 1 mOhm-cm...yli 5000 Ohm-cm
|
|
Paksuus
|
300- >1,000 µm
|
|
Paksuustoleranssi
|
±5 µm (vaativissa sovelluksissa ±3 µm)
|
|
TTV
|
<1 µm
|
|
Orientaation tarkkuus
|
±.2° (±.1°)
|