Engineered High Resistivity -kiekot

Okmeticin Engineered High Resistivity –kiekoissa yhdistyy matala happipitoisuus, yli 7000 Ohm-cm resistiivisyys ja parasiittista johtavuutta vaimentava kerros. Tämän yhdistelmä mahdollistaa RF-sovellusten maksimaalisen suorituskyvyn ja matalimmat kytkentähäviöt.   

Okmeticin Engineered High Resistivity -piikiekot valmistetaan Advanced Magnetic Czochralski –kiteenkasvatusmenetelmällä (A-MCz®). Niissä yhdistyy matala happipitoisuus,  >7000 Ohm-cm resistiivisyys ja parasiittista johtavuutta vaimentava kerros. Tämä RF-suotimia- ja sovelluksia varten kehitetty uraauurtava kiekkoteknologia vähentää RF-häviöitä ja takaa vakaan ”tehokkaan resistiivisyyden” taajuusalueelle ja täten korkemmat Q-arvot. Engineered High Resistivity -kiekot mahdollistavat myös lineaarisuuden parantamisen ja vähentävät harmonista ja keskinäismodulaatiosäröä sekä kiekolle kohdistuvaa rasitusta ja taipuisuutta.

Engineered High Resistivity -kiekkojen suorituskyky on erinomainen mitattaessa harmonista ja keskinäismodulaatiosäröä, kytkentähäviöitä ja Q-arvoja.

BAW-suotimet ja IPD-sovellukset pääkäyttökohteita

Engineered High Resistivity –kiekkoja käytetään paljon BAW-suotimissa ja IPD-sovelluksissa, sillä parasiittista johtavuutta vaimentava kerros mahdollistaa erittäin korkean resistiivisyyden, ennätysalhaiset kytkentähäviöt, matalat harmonisen särön arvot sekä erinomaisen lineaarisuuden lämpötilasta riippumatta. Muita käyttöalueita on integroidut RFIC-sovellukset ja pii-interposerit, jotka kummatkin hyötyvät erittäin korkeasta ja vakaasta resistiivisyydestä sekä erinomaisesta elektronisesta suorituskyvystä.

Engineered High Resistivity -kiekoilla keskinäismodulaatiosärö vaimenee jopa 15dB kilpailevia teknologioita enemmän ja harmoninen särö jopa 80dB verran.

Optimoitu, erinomainen suorituskyky ja matalammat elinkaaren aikaiset kokonaiskustannukset:

  • Erinomaisia tuloksia havaittu sekä IPD-sovellusten ja BAW-suotimien valmistuksessa.
  • Keskinäismodulaatiosärön (IMD3) vaimennus Engineered High Resistivity –kiekoilla on 15dB parempi kuin parhailla kilpailevilla kiekkoteknologioilla.
  • Engineered High Resistivity -kiekoilla saavutetaan 80 dB vaimennus harmonisen särön tasoissa (H2) max 100°C lämpötiloissa.
  • Parasiittista johtavuutta vaimentava kerros voidaan räätälöidä vastaamaan tiettyä asiakkaan prosessia, jotta saavutetaan maksimaalinen hyöty lineaarisuuden ja kytkentähäviöiden osalta.
  • Ei tarvetta monimutkaisille implanteille ja niiden vaikutukselle toimitusketjussa. Parasiittista johtavuutta vaimentava kerros on puhtaasti piipohjainen eikä sisällä muita materiaaleja, joten se soveltuu hyvin olemassaoleville tuotantolinjoille

Räätälöityjä, korkearesistiivisiä kiekkoratkaisuja

Okmeticin Engineered High Resistivity –kiekot ovat optimoituja, A-MCz®-kiteenkasvatusmenetelmällä valmistettuja piikiekkoja matalalla happipitoisuudella, >7000 Ohm-cm resistivisyydellä ja parasiittista johtavuutta vaimentavalla kerroksella. Resistiivisyyden lisäksi myös muut kiekkoparametrit ovat säädettävissä. Engineered High Resistivity –kiekkovalikoima sisältää 150-200mm SSP- ja DSP-kiekkoja joko boorilla tai fosforilla seostettuna. Kideorientaatiot ovat joko <100> tai <111>  ja kiekkopaksuus on säädettävissä  380 ja >1150 µm välillä.

RFSi®-kiekkojen spesifikaatiot

KasvatusmenetelmäMCz, A-MCz®
Halkaisija150mm, 200mm
Kideorientaatio<100>, <111>
N-tyypin seosaineetFosfori
P-tyypin seosaineetBoori
ResistiivisyysJopa > 7000 Ohm-cm
SSP-kiekkopaksuus150mm: 400 ja 1150 µm välillä; 200mm: 550 ja 1150 µm välillä
DSP-kiekkopaksuus150mm: 380 ja >1150 µm välillä; 200mm: 380 ja >1150 µm* välillä
*Muut paksuudet mahdollisia tietyin rajoituksin
Taustapinnan käsittelyKiillotettu, syövytetty
SeosaineOrientaatioPaksuusResistiivisyysHappipitoisuus
(ASTM F121-83)
Boori<100>380 – ≥ 1150 µm
>5000 Ohm-cm
>7000 Ohm-cm
<10 ppma, MCz
<5 ppma, A-MCz®
Boori <111> 380 – ≥ 1150 µm
> 5000 Ohm-cm
> 5000 Ohm-cm
<10 ppma, MCz
<5 ppma, A-MCz®
Fosfori <100> 380 – ≥ 1150 µm
> 500 Ohm-cm
> 500 Ohm-cm
<10 ppma, MCz
<5 ppma, A-MCz®

Ota yhteyttä

Pyydä tarjous tai tuotetietoja