High Resistivity BSOI -kiekot

Okmeticin High Resistivity BSOI-kiekot yhdistettynä kuvioituihin, ilmaeristettyihin ja matalahäviöisiin rakenteisiin on suunniteltu palvelemaan mm-aaltotaajuuksilla toimivien sovellusten tarpeita.

Okmeticin laaja osaaminen kiteenkasvatuksesta kiekkoprosessointiin, kuviointiin ja SOI-bondaukseen antaa yhtiölle kyvykkyyden yhdistellä teknologioita ja tarjota asiakkaille uudentyyppisiä, korkean lisäarvon kiekkoratkaisuja mm-aaltotaajuuksilla toimivien sovellusten vaativiin tarpeisiin. Okmeticin korkearesistiviset, bondatut SOI-kiekot kuvioiduilla, ilmaeristetyillä ja matalahäviöisillä rakenteilla mahdollistavat yhdistelyrakenteet uusiin lupaaviin teknologoihin kuten Strip line-suotimiin. Matalahäviöinen aktiivikerroksen materiaali voidaan myös yhdistää C-SOI®-kiekkojen valmisrakenteisiin uudentyyppisten BAW-suotimien tai IPD-sovellusten alustojen luomiseksi. Yksinkertaistetut rakenteet integroituihin anturi- ja viestintäsiruihin ovat saatavilla myös Strip line-alustoihin.

Okmeticin osaaminen ja kyvykkyys yhdistellä teknologioita mahdollistaa uudentyyppiset korkean lisäarvon kiekkoratkaisut mm-aaltotaajuuksilla toimivien sovellusten tarpeisiin.

Korkeaa ja vakaata resistiivisyyttä tasaiseen aktiivikerrokseen yhdistettynä

Okmeticin High Resistivity SOI -kiekot onkaloilla tai ilman valmistetaan Advanced Magnetic Czochralski -kiteenkasvatusmenetelmällä (A-MCz®), mikä mahdollistaa matalan happipitoisuuden ja erittäin korkeat yli  7000 Ohm-cm resistiivisyydet. SOI-rakenteet valmistetaan liittämällä kaksi piikiekkoa yhteen ja jättämällä niiden väliin kerros eristävää oksidia. Tyypillisesti mm-aaltotaajuuksilla toimivat sovellukset valmistetaan aktiivikerroksena toimivalle päällyskiekolle. Haudattu oksidikerros eristää erinomaisesti sähköä ja pysäyttää syövytysprosessin tehokkaasti, mutta sitä voidaan käyttää myös uhrattavana kerroksena vaativampia sovelluksia valmistettaessa. Alustakiekko tukee rakennetta, mutta sitä voidaan käyttää myös valmiin rakenteen koteloinnin osana. Lue lisää BSOI-kiekoistamme tai C-SOI®-kiekoistamme.

High Resistivity BSOI -kiekkojen spesifikaatiot

KasvatusmenetelmäMCz, A-MCz®
Halkaisija150mm, 200mm
Kideorientaatio<100>, <111>
N-tyypin seosaineetFosfori
P-tyypin seosaineetBoori
ResistiivisyysJopa > 7000 Ohm-cm
Aktiivikerroksen paksuus1 μm ja > 200 μm välillä
Haudatun oksidikerroksen paksuus0,3 μm ja 4 μm välillä, tyypillisesti 0,5 μm ja 2 μm välillä
Tyyppi: terminen oksidi
Alustakiekon paksuus300 μm ja 950 μm välillä, tyypillisesti 725 μm 200mm kiekoissa ja 380 μm 150mm kiekoissa
Taustapinnan käsittelyKiillotettu, syövytetty

Ota yhteyttä

Pyydä tarjous tai tuotetietoja