SOI-kiekkoperhe – Silicon-On-Insulator

Okmeticin laaja bondattu SOI-kiekkoperhe (Silicon On Insulator) tarjoaa optimaalisen alustan edistyneiden MEMS-, anturi-, tehopuolijohde- ja RF-sovellusten valmistukseen. Okmeticin SOI-kiekot tuovat lisää vapautta sovellusmuotoiluun ja mahdollistavat niiden maksimaalisen suorituskyvyn, kustannustehokkuuden ja vaivattoman valmistuksen. 

Okmetic oli yksi ensimmäisiä MEMS-teollisuudelle SOI-teknologiaa ja SOI-kiekkoja esitteleviä piikiekkovalmistajia. Nyt yhtiö on massavalmistanut SOI-kiekkoja jo yli 20 vuoden ajan. SOI-kiekot ovat piikiekkoja, joissa on ohut piikalvo eristävän oksidikerroksen päällä, ja niiden tuotanto vaatii erittäin korkeaa teknistä kyvykkyyttä. SOI-kiekot mahdollistavat kaikista edistyneempien MEMS-, tehopuolijohde- ja RF-radiotaajuuskomponenttien valmistuksen. Näitä komponentteja käytetään auto- ja terveysteollisuuden sovelluksissa, älykelloissa- ja rannekkeissa, älypuhelimissa ja tableteissa sekä asioiden ja esineiden Internetiin liittyvissä sovelluksissa, jotka tarvitsevat antureiden tuottamaa dataa laitteiden välisessä kommunikaatiossa.

SOI-kiekot tarjoavat optimaalisen alustan MEMS-, anturi- , tehopuolijohde- ja RF-radiotaajuussovelluksille.

Okmeticin SOI-kiekot valmistetaan bondaustekniikalla. Kaksi piikiekkoa liitetään toisiinsa jättäen niiden väliin kerros eristävää oksidia. Useimmissa sovelluksissa anturielementit ja puolijohdekomponentit valmistetaan SOI-kiekon aktiivikerrokseen. Haudattu oksidikerros eristää erinomaisesti sähköä ja pysäyttää syövytysprosessin tehokkaasti, mutta sitä voidaan käyttää myös uhrattavana kerroksena. Alustakiekko tukee rakennetta, mutta sitä voidaan käyttää myös valmiin rakenteen koteloinnin osana tai osana anturielementtiä tai komponenttia.

Laaja valikoima SOI-kiekkoja (Silicon On Insulator)

Okmeticin valmistaa SOI-kiekkonsa täysin itse. Tämä mahdollistaa kaikkien kriittisten kide- ja kiekkoparametrien tarkan valvonnan ja varmistaa SOI-kiekkojen korkean laadun. Markkinoiden laajin kiekkoportfolio puolestaan mahdollistaa optimaalisen sähkönjohtavuuden ja eri kideorientaatioiden valinnan, jotta piin anisotrooppisia ominaisuuksia voidaan hyödyntää parhaalla tavalla. Myyntimme ja tekninen asiakastukemme auttavat mielellään optimaalisen, tarpeisiisi räätälöidyn ratkaisun löytämisessä.

Okmeticin SOI-kiekkoperhe koostuu seuraavista tuotteista:

Tyypilliset SOI-kiekkojen spesifikaatiot

KasvatusmenetelmäCz, MCz, A-MCz®
Halkaisija150mm, 200mm
Kideorientaatio<100>, <110>,<111>
N-tyypin seosaineetFosfori
P-tyypin seosaineetBoori
Resistiivisyys< 0,001 to > 7000 Ohm-cm välillä
Aktiivikerroksen paksuus1 μm ja > 200 μm välillä
Toleranssi ±0,5 μm (BSOI), ±0,3 μm (0.3 SOI), ±0,1 μm (E-SOI®),  ±0,5 μm tai alle (C-SOI®)
Haudatun oksidikerroksen paksuus0,3 μm ja 4 μm välillä, tyypillisesti 0,5 μm ja 2 μm välillä
Tyyppi: Terminen oksidi
Alustakiekon paksuus300 μm ja 950 μm välillä, tyypillisesti 725 μm 200mm kiekoissa ja 380 μm 150mm kiekoissa
Taustapuolen käsittelyKiillotettu tai syövytetty

Okmetic – SOI-kiekkojen teknologiajohtaja

Okmetic on todellinen SOI-kiekkojen edelläkävijä, sillä yhtiö alkoi kehittämään SOI-teknologiaa MEMS-teollisuudelle jo 1990-luvulla ja on massavalmistanut SOI-kiekkoja jo vuodesta 2001 lähtien. MEMS-teollisuus otti SOI-kiekkoteknologian puolijohdeteollisuuksista ensimmäisenä käyttöönsä ja se on edelleen pääasiallinen ajuri SOI-kiekkojen kysynnän kasvulle. Sittemmin SOI-kiekkojen käyttö on laajentunut myös trench-eristystä hyödyntäviin tehonhallintaratkaisuihin kuten korkeajännitteisiin lateraali- ja BCD-sovelluksiin. SOI-kiekkoja käytetään myös RF-teollisuudessa, jonka tarpeisiin Okmetic on kehittänyt High Resistivity BSOI-kiekkonsa.

2021 Okmeticin SOI-kiekot 20 vuotta

2020 EC-SOI, joka yhdistää E-SOI®– ja C-SOI®-kiekkojen hyödyt

2019 Uusi C-SOI®-tuotantolinja

2016 E-SOI®-kiekon lanseeraus

2015 SOI-kiekot tehopuolijohteisiin

2010 SOI-pohjaiset erittäin pienet paineanturit ja älyrannekkeet

2009 C-SOI®-kiekot volyymituotannossa

2008 SOI-pohjaiset piimikrofonit

2006 C-SOI®-pohjaiset inertia-anturit autoteollisuudelle

2005 Ensimmäiset C-SOI®-toimitukset

2001 SOI-kiekkolinjan käynnistäminen

1998 Okmeticin SOI-teknologia kehitetty    

Ota yhteyttä

Pyydä tarjous tai tuotetietoja