马来西亚 SilTerra 的 MEMS 和光子器件新制造技术使用 C-SOI®硅片作为硅基衬底

Okmetic 非常自豪我们的埋层腔体型绝缘体上硅片(C-SOI®能够支持马来西亚 SilTerra 的微机电系统(MEMS)和光子器件的新制造技术。C-SOI®硅片是根据 SilTerra 的需求定制的,适用于频率为 500kHz 或以下范围的消费、医疗、工业和汽车等垂直市场的压电传感器、微镜、加速度计、麦克风、惯性 MEMS、谐振器和微流体设备中的应用。该技术还可用于构建使用基于 MEMS 的驱动和基于光子的传感器。

C-SOI®硅片嵌入了大腔尺寸,改善了可重复的良率,SilTerra 已经成功地在 C-SOI®衬底上集成并鉴定了 MEMS 和光子学工艺模块。从本质上讲,SilTerra 的技术可以为客户提供精确、高产量和更快的上市时间,有利于客户更快地进行 MEMS 和光子器件的制造。阅读 SilTerra 新闻稿了解详情(外链)。