E-SOI硅片完善了Okmetic的SOI产品组合

Okmetic推出了增强型SOI 硅片 (E-SOI),丰富了SOI产品系列(绝缘体上硅)。由于其层厚均匀性和前所未有的特性,E-SOI是HV BCD器件、硅光子学和高精度硅基MEMS传感器等要求苛刻的应用的理想平台。

E-SOI硅片的器件层厚度可在1.0µm和>100µm之间自由调节,与目标厚度无关的厚度公差低至+/-0.1µm。凭借Okmetic自主的长晶工艺,我们拥有宽泛的硅材料可供选择。和Okmetic的BSOI硅片类似,E-SOI硅片的可定制性也非常高,其技术为半导体和传感器应用提供了理想的晶圆解决方案。